射频系统中MEMS谐振器和滤波器.光学精密工程OpticsPrecisionEngineeringVoI.12Jan.2004文章编号1004-924X（2004）01-0047-08射频系统中MEMS谐振器和滤波器（重庆邮电学院微光机电系统研究所，重庆400065）摘要：介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器...
本论文工作基于国内已有的MEMS基础和工艺能力,致力于以高隔离MEMS开关、可调MEMS滤波器和毫米波MEMS移相器为代表的典型射频MEMS可重构单片电路的设计与实现,取得了一系列的创新成果。.MEMS开关作为射频MEMS的基本单元,其可靠性成为重要的关注点。.本论文开展...
微机电系统（MEMS）毕业论文.摘要微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS）技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域，是微机械技术中的一类有代表性...
射频系统中MEMS谐振器和滤波器.李应良;潘武.介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件。.对这些...
世界著名信息技术期刊《IEEE论文集》在1998年的MEMS专辑中将MEMS的内容归纳为：集成传感器、微执行器和微系统。人们还把微机械、微结构、灵巧传感器和智能传感器归入MEMS范畴。制作MEMS的技术包括微电子技术和微加工技术两大部分。
从产品使用结构来看，国内MEMS公司的产品主要集中在射频MEMS、压力传感器、加速度计等传统领域，并且射频MEMS由于在中国发展逐渐成熟，应用于工业和消费品等多个领域，以25.9%的占比在产品结构中位列首位。
南昌大学硕士学位论文MEMS气体压力传感器的系统级封装（SiP）技术研究姓名：陈思远申请学位级别：硕士专业：机械设计及理论指导教师：罗玉峰20070602摘要摘要压力传感器是MEMS技术的重要应用，目前以MEMS工艺技术开发的压力传感器正广泛应用于汽车电子领域，但是MEMS封装成本占到了MEMS...
此处主要介绍通信中较为特别的MEMS器件，主要为与射频相关MEMS器件。通信系统中，大量不同频率的频带（例如不同国家，不同公司间使用不同的频率，2G，3G，LTE，CDMD以及蓝牙，wifi等等不同技术使用不同的通信频率）被使用以完成通讯功能，而这些频带的使用离不开频率的产生。
提供射频MEMS压控电容器文档免费下载，摘要:第2卷第22期2002年5月固体电子学研究与进展RSARH&POGRESOFSEEECRSSVo122.o.2.NMay.2200射频MEMS压控电容器朱健林立强林金庭(京电子器件研究所，106南201)20020133收稿，019
通过分析MEMS电容开关的工作原理,设计出一种适合分布式射频MEMS移相器电路的新型电容开关.采用Intellisuite^TM软件优化电容开关的驱动电压、响应时间、释放时间和机械振动模式.结果表明,开关驱动电压为2.5V、响应时间小于30μs,释放时间大于60μs和所有...